CVD气相沉积炉
先进陶瓷
CVD气相沉积炉烧结碳碳/碳陶复合材料
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用途:
CVD气相沉积炉用于烧结碳碳及碳陶复合材料产品.
主要配置:
1.立式炉体,双层炉体结构,水冷夹套设计。
2.炉膛内由发热元件,保温层,测温热电偶,监测热电偶组成
3.发热元件沿炉膛内壁均匀布置,有利于加热,温度均匀性好
4.PLC加触摸屏操作方式,有报警功能,自动化程序高,安全可靠
主要技术参数:
1.工作区:Ø1500X2000mm
2.高温度:1550℃
3.工作温度:1400℃
3.极限真空度:20Pa
4.加热方式电阻加热
5.工作气氛氩气及反应气体